气体经设备进口进入设备，首先由进气精密过滤器过滤掉杂质、细菌等尘埃（选项），再由进口减压阀减压稳压至工作压力准备工作。启动设备后，氦气由氦气流量计控制或测量流量，由截止阀送出至配气预混器。设定需要的其它混合气流量，实时调节流量后经截止阀送至预混器进行混合。混合后的气体由出口压力传感器与截止阀配合开启或关闭进行压力调节（选项），经设备出口送入使用点或出口缓冲罐进行储存。配气过程中，由压力传感器监测压力及PLC监测流量计运行状况，当出现异常情况时，发出声光报警提示。

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多路配气柜2